什么是半導(dǎo)體SEM認證？

SEMI簡介

SEM是半導(dǎo)體設(shè)備與材料的國際性組織（Semiconductor Equipment and Materials International）的簡稱，成立于1970年，總部位于美國加州，是半導(dǎo)體工業(yè)的全球執(zhí)行聯(lián)盟。

SEM下屬的安全工作小組為了降低機械危害的風險，制定了一套適用于半導(dǎo)體及顯示器材料和制造設(shè)備的全球性標準和法規(guī)，成為半導(dǎo)體業(yè)界對設(shè)備系統(tǒng)的必備的規(guī)格要求

SEMI標準中有材料（M系列）、設(shè)備（F系列）、平板顯示器（D系列）、跟蹤性（T系列）等，環(huán)境·健康·安全（EHS）由S系列規(guī)定。

SEMI S2認證簡介

SEMIS2認證是針對制程設(shè)備供貨商所規(guī)范的基本健康和安全要求安全標準，符合SEMI S2不僅符合了國際相關(guān)規(guī)定，也是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的公司所要求的必要條件之一。

SEMIS2認證以效能考量為主，涵蓋導(dǎo)體制造設(shè)備的環(huán)境、健康及案件條件，具體來說，該標準涉及電氣、機械、防火、化學(xué)、輻射、噪音和防震等各方面的安全領(lǐng)域，代表了半導(dǎo)體廠家的基本安全要求。

與其他SEMI指令相比，例如，SEMI S3（人體工學(xué)要求）和SEMI S10（風險評估）一起使用，SEMI S2代表了 導(dǎo)體廠家的基本安全要求。過去半導(dǎo)體業(yè)者為了降低機械危害的風險，采取非常多類別的防制與管理措施，其中最典型的措施是在采購設(shè)備系統(tǒng)時，即將SEMI S2安規(guī)認證列為必備的規(guī)格要求。

SEMI系列常見標準

SEMI S1-Safety Guideline for Visual Hazard Alerts裝置安全標簽

SEMI S2-Safety Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置的環(huán)境、健康、安全SEMI S3-Safety Guidelines for Heated Chemical Baths熱化學(xué)槽的安全性

SEMI S4-Safety Guideline for the Segregation/Separation of Gas Cylinders Contained in Cabinets櫥柜收納高壓氣筒的隔離/分離SEMI S5-Safety Guideline for Flow Limiting Devices流量限制設(shè)備

SEMI S6-Safety Guideline for Ventilation換氣

SEMI S7-Safety Guidelines for Environmental，Safety and Health Evaluation of Semiconductor Manufacturing Equipment半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置的環(huán)境、健康、及安全性（ESH）評價

SEMI S8-Safety Guidelines for Ergonomics/Human Factors Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment體生產(chǎn)裝置的人機工程學(xué)SEMI S9-Electrical Test Methods for Semiconductor Manufacturing Equipment半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置的電氣設(shè)計驗證試驗SEMI S10-Safety Guideline for Risk Assessment風險核查

SEMIS11-Environmental，Safety，andHealth uidelines forSemiconductorManufacturing Equipment Minienvironments半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置的小環(huán)境的環(huán)境、安全性及健康

SEMI S12-Guidelines for Equipment Decontamination裝置的去污

SEMI S13-Safety Guidelines for Operation and Maintenance Manuals Used with Semiconductor Manufacturing Equipment半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置的操作及維護手冊

SEMI S14-Safety Guidelines for Fire Risk Assessment and Mitigation for Semiconductor Manufacturing Equipment對半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置的火災(zāi)風險評估和降低

SEMI S15-Safety Guidelines for the Evaluation of Toxic and Flammable Gas Detection Systems有毒及易燃氣體的檢測系統(tǒng)評價SEM1F47-Voltage Sag Standard電壓瞬變能力規(guī)范

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